最終更新日:
2022-10-20 09:48:11.0
低NOx燃焼・高効率で完全分解！アンモニアを含むガスの排ガス処理装置
『サンレーアンモニア燃焼除害装置』は、半導体製造装置や研究施設等から排出されるアンモニアを含む排ガスを燃焼除害する装置です。
永年培った燃焼技術をベースに、低NOx燃焼を実現し、アンモニアを分解します。
窒素含有溶剤の処理にも適応できます。
【特長】
○低NOx燃焼・高効率で完全分解
○小容量～大容量処理可能
○コスト低減
○安全重視・取扱容易
○省エネルギー・省スペース
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【仕様】
○事例：事例1／事例2
○処理ガス成分：NH3+H2+N2
○最大処理ガス量(m³/h(N))：12.6／66.6
○助燃ガス量(助燃ガス:都市ガス13A)(m³/h(N))
→事例1：2-6.5（Hi-Low-Off制御方式）
→事例2：1.9～15.1（比例制御方式）
○処理後排ガス中のNH3濃度：0ppm
○処理後排ガス中のNOx濃度：8ppm以下／28ppm以下
○設置スペース：(mm)：W2000×D1500×H2000／W2500×D1500×H2100
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体デバイス研究・製造施設、その他アンモニアを含むガスを排出する施設からの排ガス処理 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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サンレー冷熱株式会社
