サーフ工業株式会社

フッ素樹脂コーティング【半導体製造装置向け】

最終更新日: 2024-03-22 10:26:17.0
薬液や腐食性ガスから基材を守り、洗浄性や付着防止など様々な装置に!

弊社のフッ素樹脂コーティングは耐薬品性やパーティクル低減、洗浄性、撥水性
金属イオン防止、耐火防火性、延焼防止など、幅広い用途でご利用いただけます。

フッ素樹脂の特性である非粘着性・離型性・撥水性によってコーティングの
表面は水や油をはじき、ほとんどの物質が固着しない膜を形成。

洗浄時間の短縮・洗浄液の削減・金属イオン溶出防止・残留物の混入などの対策に効果的です。


【メリット】
■生産性の向上
■製品の品質向上
■メンテナンスの時間と費用の削減

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

薄膜コーティング0.01μm~50μm:撥水撥油性、非粘着性、滑り性などを必要とする各種機器向けに。
厚膜コーティング300~1500μm:強酸、強アルカリによる耐食性を必要とする各種機器向けにピンホーレスの被膜が保護します。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【実績例】
FM認証ダクト配管
CMP研磨装置
フォトレジスト製造タンク
超純水製造装置
ウェーハ搬送キャリア
ウェーハ洗浄チャンバー
ステッパー各種部品
吸着プレートほか

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