『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、
半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。
【特長】
○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン
○高速の開閉機能
○高温下でも安定した流量を実現
○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート
常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。
高純度用途／超高純度用途のニーズにお応えするため、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っているSwagelokバルブをご利用ください。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 原子層蒸着（ALD）プロセス用途向け超高純度用バルブ |
| 用途／実績例 | 半導体業界の原子層蒸着（ALD）プロセスをはじめ、高速での作動や長いサイクル・ライフを必要とする箇所に適しています。 |
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『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
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