スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | DRPシリーズ |
| 用途／実績例 | 薬液供給やCMPラインをはじめとするウェット・システムなどに適しています。 |
詳細情報
特徴
・優れた流路（特許）
・たまり部分を最小限に抑える半球形のバルブ内部および独自の形状のダイヤフラム
・接液・接ガス表面は、素早く清浄な状態になり、プロセス流体やコンタミネーションの残留を防止
・流体のせん断を最小限に抑え、スラリーの凝集を低減する流路
・長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
・次世代PTFE製ダイヤフラムにより、耐久性およびシール性に優れ、かつサイクル・ライフが向上
・開閉時の応力を最小限に抑える次世代PTFE製ダイヤフラムの形状（特許)
・ダイヤフラムの曲面を厚くし、酸が透過する可能性を低減
・プロセス流体へのコンタミネーション発生を最小限に抑えるデザイン
・接液・接ガス部への金属部品の露出なし
・締め切り動作をソフトにし、システムへの衝撃圧やパーティクルの発生、シール時におけるシート部分の損傷を防止すると同時に、材料のクリープ（受けた応力によって生じる変形）を最小限に抑えるスプリング
・ダイヤフラムは容易に交換できるため、現場でのメンテナンスが容易
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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
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