【XAIS導入時の装置構成と検査の流れ】
1.AVI
・事前に作成した検査データを使用し検査を実地
・検出した欠陥の情報をXAISへ
2.XAIS
・AVIが検出した欠陥を"良品(PASS)"と"要確認(VERIFY)"に自動で振り分け
・"要確認(VERIFY)"の情報のみをベリファイへ
3.VERIFY
・XAISから受け取った"要確認(VERIFY)"の箇所のみ検査員が確認し最終判定を実地
1.AVI
・事前に作成した検査データを使用し検査を実地
・検出した欠陥の情報をXAISへ
2.XAIS
・AVIが検出した欠陥を"良品(PASS)"と"要確認(VERIFY)"に自動で振り分け
・"要確認(VERIFY)"の情報のみをベリファイへ
3.VERIFY
・XAISから受け取った"要確認(VERIFY)"の箇所のみ検査員が確認し最終判定を実地