上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
【低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答ＸＹステージ】
《特長》
■シンプルなXY構造
案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
■優れた応答性
クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。
■高剛性XYステージ
XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
■ガタのない連結機構
X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
［モータ軸換算負荷：慣性モーメント］
EX0505：X軸 0.024［kg・cm2］、Y軸 0.027［kg・cm2］
EX0808：X軸 0.026［kg・cm2］、Y軸 0.03［kg・cm2］
■シンプルなXY構造
案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
■優れた応答性
クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータを両方とも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し各軸の慣性力を抑え、優れた高速応答性を実現しました。
■高剛性XYステージ
XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
■ガタのない連結機構
X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化した、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
［モータ軸換算負荷：慣性モーメント］
EX0505：X軸 0.024［kg・cm2］、Y軸 0.027［kg・cm2］
EX0808：X軸 0.026［kg・cm2］、Y軸 0.03［kg・cm2］
関連情報
THK 精密ステージ 高応答XYステージ EX
-
-
【特長】
○シンプルなXY構造
→案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
○すぐれた応答性
→クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。
これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。
○高剛性XYステージ
→XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、
ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
○ガタのない連結機構
→X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。
トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
●詳しくはお問い合わせください。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
トークシステム株式会社
