ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。
詳しくはお問い合わせください。
【特長】
○シンプルなXY構造
→案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
○すぐれた応答性
→クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。
これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。
○高剛性XYステージ
→XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、
ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
○ガタのない連結機構
→X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。
トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
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○シンプルなXY構造
→案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。
○すぐれた応答性
→クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。
これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。
○高剛性XYステージ
→XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、
ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
○ガタのない連結機構
→X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。
トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
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