【Lechler Sonosys】（事例）半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル技術資料・事例集 | カタログ

最終更新日: 2021-12-15 14:20:29.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

レヒラー社の精密スプレーノズルとソノシス社の超音波スプレーノズルで半導体装置の洗浄やリンスをしてみませんか？
【Lechler】レヒラー社製精密スプレーノズル
スプレーノズルはいくつかの敏感な製造工程の場で使われます。
PCB製造では様々な感光性、機械的、化学的プロセスで使われます。
また、ウエハーの形状、マイクロやナノエレクトロニクス、太陽光パネル等で使用されています。
また、耐薬液も選定基準の一つとなります。

レヒラー社は約25000種類以上のスプレーノズルを保有しています。
様々な国の様々な半導体装置機器に組み込まれております。

【Sonosys】ソノシス社製超音波スプレーノズル
構造は超音波発振機による無加圧微粒子塗布装置です。
ピエゾセラミックの振動による超音波がスプレーノズルに伝わり、そこで液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、霧化します。
加圧なしで液体が供給され、微細な粒子を噴霧させることができます。
液体に圧力を加えないため、飛散や跳ね返りが非常に少なく、塗布液のムダが無くなり大掛かりな塗装ブースも不要。設備投資とランニングコストの削減を実現します。

ソノシス社は半導体洗浄装置をOEMで様々な半導体装置に納入されています。
その一例を事例として掲載しました。

関連情報

レヒラーの精密スプレーノズルとアクセサリー

【掲載内容】
○スプレー技術の伝統と発展
→より良い未来のための研究開発
→利点は我々の生産性にあります
→品質に就いて
→測定値の記録
○主な産業
→表面処理
→化学品産業
→食品産業
→工作機械
→製紙工業
→防火
→空調
→鉄鋼業
→電力、環境技術
→農業
○どのスプレー形状が適しているか？
→一流体噴霧
→二流体スプレー
→二流体フラットノズル
→二流体フルコーンノズル
→縦軸型ホロコーンノズル
→横軸型ホロコーンノズル
→縦軸型フルコーンノズル
→横軸型フルコーンノズル
→フラットノズル
→タング型ノズル
→直進型ノズル
→エアーノズル
→タンク洗浄ノズル
→静止スプレーボール
○ノズルの性能とサービスデータ
→流量、圧力、スプレー角度
→液量分布
→スプレーインパクト
→36粒子サイズと粒子分布
○お客様の必要性がノズルの材質を決めます
○耐久性
○アクセサリー
○レヒラーノズルの取付け方法について

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
●英語版のカタログをダウンロード頂けます。

レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル≪最新型≫

※構造やサイズラインナップはカタログをご確認ください。

レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル（型番：419）大流量タイプ

材質：SUS316L（鋳造）
最大使用温度：400℃
推奨圧力：0.1MPa（最大圧力1MPaまで）

《ソノシス》超音波スプレーノズル

通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。
若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主流です。
しかし粒子に速度があり過ぎると、その液体が飛散をしてしまい粗悪な環境を作ってしまうケースもあります。
それを改善する為にこの超音波スプレーノズルされる事が多々あります。

特長
・液体を加圧せずに供給出来る為、消費電力が低い（エネルギーコストが安い）
・最小流量から流量に関係なく均一霧化
・全流量域での粒子径がほど一定
・目詰まりしにくく、作業場の安全性が高い
・粒子の自己速度が遅い為、塗着効率が良い
・操作周波数は45~100lHz（機種により異なる）
・平均粒子径は約20?m~40?m（注：ザウター平均ではありません）

【Sonaer】ソニア社製超音波スプレーノズル

【標準仕様】
＝＝＝Wide Spray（角度付型）＝＝＝
WS20K50
WS40K50
WS60K50
WS130K50

＝＝＝Narrow Spray（直進型）＝＝＝
NS40K50
NS60K50
NS130K50

＝＝＝Radical Spray（横噴型）＝＝＝
CF40K50

この他に延長型、高温対応型、空気搬送冶具（粒子を広がらせるアクセサリー）等もご提供可能です。

レヒラー社製二流体スプレーノズル

【ラインナップ】
○136.1/166.1シリーズ
→微細フルコーンスプレーと空気もしくはガスを含む液体のスプレー
→液体加圧式、内部混合
○136.2/166.2シリーズ
→微細フルコーンスプレーと空気もしくはガスを含む液体のスプレー
→液体加圧式、内部液体混合
○136.3/166.3シリーズ
→微細フルコーンスプレーと空気もしくはガスを含む液体のスプレー
→サイフォン式、外部液体混合
○136.4/166.4シリーズ
→エアーとガスを含む液体を微細なフラット形状にスプレー
→液体加圧式、内部液体混合
○136.5/166.5シリーズ
→エアーとガスを含む液体を微細なフラット形状にスプレー
→サイフォン式、内部液体混合
○136.6/166.6シリーズ
→空気とガスを含む液体を微細なフラット形状にスプレー
→液体加圧式、外部液体混合
○140シリーズ
→特に微細フルコーンスプレー、サイフォン式、内部液体混合
→統合調整装置

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
●英語版のカタログをダウンロード頂けます。

【Lechler】レヒラー社製二流体内部/外部混合スプレーノズル

サイフォン型
ノズルを通過する空気量により生ずる吸引力を利用して水槽（タンク）からノズルへ液体を引き上げます。
吸引の高さを変更させることにより、液体の流れ及び粒子径の大きさを変更する事が出来ます。
この供給方法は通常、極少量の液体を微細に霧化するこに使用されます。

重力型
重力を利用して高所の水槽（タンク）からノズルへ流液を送り込みます。
均一パフォーマンスは流液の高さとノズル間の一定の距離を維持する事により達成されます。
この距離上の変化は流量と粒子径の大きさにおける変化に帰因します。

圧力（加圧）型
圧力に基づき液流をノズルへ供給します。
電磁弁が種々のパフォーマンスを得るために、圧力を抑制します。
粒子径と流量は他の2種類の液体供給方法よりも大きく、空気消費量に比較して液体に依存しています。

2流体内部混合はノズル内の空気と液体の衝突及び混合です。
不純物の少ない液体、その他低粘度の液体により使用するのが理想です。
2流体外部混合はノズルオリフィスを通過後、空気と液体の衝突で霧状にします。
高粘度液体の霧化に最適です。

レヒラー社製高インパクトフラットスプレーノズル（トング型ノズル）

【仕様】
高インパクト型フラットスプレーノズル（トング型ノズル）
シリーズ／688、689
角度／45°
8~31.5 [l/min]at p=2ba
接続サイズ／3/8 BSPT、3/4 BSPF

レヒラー社製ホロコーンノズル

【ラインナップ】
○縦軸型　212シリーズ
→極めて微細な霧のようなホロコーンスプレー
○縦軸型　214./216シリーズ
→微細で均一なホロコーンスプレー
○リテイニングナット用の縦軸型　2TRシリーズ
→セラミックインサートのついたホロコーンスプレーノズル
→リテイニングナット組込み、微細で均一なホロコーンスプレー
○横軸型　真鍮製　302/308シリーズ
→均一なホロコーンスプレー
→ワールインサートがなく、目詰まりしにくいノズル
○横軸型　プラスチック製　302シリーズ
→均一なホロコーンスプレー
→ワールインサートがなく目詰まりしにくいノズル
○横軸型　差込み式簡易脱着システム　302シリーズ　
→ネジ式のデザインの代わりとして時間の節約に
→速くかつ安全な取付け
→スプレー方向の自動セット
○横軸型　350シリーズ
○横軸型　304/306／307シリーズ
○横軸型　373シリーズ“傾斜底”/309

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
●英語版のカタログをダウンロード頂けます。

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（高圧用ノズル）

【ラインナップ】
○632/633シリーズ
→標準規格のテーパーネジを採用
○610シリーズ/612シリーズ
→コンパクトなデザイン、取り付けるところが狭い時に最適
○616/617シリーズ
→均一な山形散布、目詰まり防止機能の向上、より強力なジェット
○リテイニングナット用　652シリーズ／656/657シリーズ
→リテイニングナット組み込み、簡単なノズル交換、シンプルなジェットの並び
○自動位置決めガイド付き　660シリーズ／664/665シリーズ
→自動位置決めガイドが付いているので自動的にノズルの位置が決まる
○差込式簡易脱着キャップ付き　646シリーズ
→差込式簡易脱着キャップで即座に簡単取り付け
○タングノズル　688/689シリーズ
→スプレー角度が狭く強力なフラットジェットパターン、目詰まりしにくい
○タングフラットノズル　686シリーズ
→広角フラットジェットで明確なスプレーパターン、特に目詰まりしにくい
○その他各種取り揃え

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）

【仕様】
トング型ノズル
シリーズ／686
角度／140°
0.63~28 [l/min]at p=2bar
接続サイズ／1/8 BSPT　1/4 BSPT　3/8 BSPT

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）

【仕様】
トング型ノズル
シリーズ／684
角度／140°
0.63~10 [l/min]at p=2bar
接続サイズ／3/8" ロックナット

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（コンパクトタイプ）

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル

レヒラー社製ボールジョイント型フラットジェットスプレーノズル

【仕様】
スペシャルタイプ／フラットノズル
シリーズ／676
角度／20°30°45°60°90°120°
0.08~8 [l/min]at p=2bar
接続サイズ／3/8 BSPF溶接

レヒラー社製フルコーンノズル（縦軸型/横軸型）

【ラインナップ】
○縦軸型　460/461シリーズ
→非常に均一なスプレーパターン
→最大限にされたX型スワールインサート故の大きな開口部
○縦軸型　405シリーズ／403シリーズ
→非常に均一なスプレーパターン
○リテイニングナット用の縦軸型　468シリーズ
→ナット一体型縦軸型フルコーンノズル
○横軸型　422シリーズ／プラスチック製　422/423シリーズ
→横軸になるように液体が供給
→スワールインサートなし、目詰まりしにくい、安定したスプレー角度、均一なスプレー
○横軸型　差込式簡便脱着システム　422シリーズ
→工具なしで速く且つ安全に取付け可能、スペース節約
→目詰まりしにくくメンテナンス不要、温度と化学薬品に対しての高い耐性
○クラスターヘッドノズル　502/503シリーズ
→幾つかのホロコーンスプレーを重なりあうようにしたフルコーンスプレー
○反射板ノズル　525シリーズ
→フルコーンスプレー、スワールインサートがないので目詰まりしにくい

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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レヒラー社製横軸型フルコーンノズル

【仕様】
フルコーンノズル(横軸型)
シリーズ／422
角度／60°90°120°
1~63 l/min at p=2bar
接続サイズ／1/4 BSPT　3/8 BSPT　1/2 BSPT　3/4 BSPT

レヒラー社製横軸型フルコーンノズル

【仕様】
フルコーンノズル(横軸型)
シリーズ／422クイックリリースシステム
角度／60°90°120°
1~4 l/min at p=2bar
接続サイズ／クイックリリースによる組付け

レヒラー社製MEMOSPRAY（フラットジェットスプレーノズル）

【仕様】
低圧用ノズル
シリーズ／676　677　MEMOSPRAY
角度／60°70°
[l/min]at p=2bar／4?31.5
接続サイズ／下記サイズのパイプ用クランプ付1-1/4"、 1-1/2"

レヒラー社製イージークリップ（フラットジェットスプレーノズル）

【仕様】
スペシャルタイプ／フラットノズル
シリーズ／676　イージークリップ
角度／60°
6.3~20 [l/min]at p=2bar
接続サイズ／下記サイズのパイプ用クランプ付
1"、1-1/4"、 1-1/2"、 2"

レヒラー社製スプレーノズル据付用アクセサリー

【ラインナップ】
○TWISTLOC簡易ノズル交換システム
→レヒラーTWISTLOCノズルを瞬時のうちに交換可能
→短時間での取り付け及び交換とコスト節約をお約束
○差込式簡易脱着システム
○アイレットクランプ/リテイニングナット
○ソケット/ニップル
○ボールジョイト
→30°までなら自在に回転
→シーリング不要、磨耗なし、何度調整しても長寿命
○逆止弁/フィルター
○ガスケット/テフロンシーリングテープ

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
●英語版のカタログをダウンロード頂けます。

【Sonaer】（新製品情報）低流量型超音波スプレーノズル

加圧なしで液体が供給され、微細な粒子の噴霧が可能！超音波スプレーノズル（アトマイザー）
♦製品特徴♦
・ピエゾセラミックの振動により超音波がアトマイザー（ノズル）に伝わり、液体被膜を振動、きめ細かい粒子を形成、噴霧します
・全流量域での粒子径がほぼ一定
・目詰まりしにくく、作業上の安全性が高い
・飛散や跳ね返りが非常に少なく、塗布液の無駄が無くなり大掛かりな塗装ブースも不要
・消費電力が小さいため、エネルギーコストが安い

●商品構成：アトマイザー＋超音波振動機（ジェネレーター）

ふわっと塗布して塗着効率アップ！『超音波スプレーノズル』

【用途例】
■研究所・大学・フラットパネルなど特殊な洗浄液の塗布
■自動車関連部品の塗布
■電線への液体被膜
■不織布の加湿　など

★ただいまデモ機の貸出も実施中！

【デモ機仕様】
「WS130K（ワイドスプレー型）」
周波数：130kHz
流量：最大20mL/min
粒子径：約10μm

「WS40K（ワイドスプレー型）」
周波数：40kHz
流量：最大50mL/min
粒子径：約30μm

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【Sonaer】ステンレス製マイクロフィードチューブ

ソニア社製ステンレス製マイクロフィードチューブは、1ml/min以下の極低流量用に設計されています。
※勿論1ml/min以上でも使用は可能です。
液体は均一な粒子径を形成されるチップ先端まで一切触れることなく通液します。
マイクロチューブは超音波スプレーノズルの後方に取付け、末端に直接挿入されます。
液体はマイクロフィードチューブから流し込み、チタンチップ先端より細かい粒子に霧化されます。
本商品はオリフィ径が0.03”と0.4”のものに取付け可能です。
※オリフィス径により部品番号が異なります。

無加圧で噴霧する『超音波スプレーノズル』シリーズ

【【ソニア社製及びソノシス社製超音波スプレーノズル】】
スプレーノズル×超音波発振機による無加圧微粒子噴霧
ピエゾセラミックの振動による超音波がスプレーノズルに伝わり、液体膜を振動させてきめ細かい粒子を噴霧します。
加圧なしで液体が供給され、微細な粒子を噴霧します。
最小流量 10ml/分から最大流量 100ml/分の液体まで幅広く対応。
液体に圧力を加えないため、飛散や跳ね返りが非常に少なく、塗布液のムダが無くなり大掛かりな塗装ブースも不要
設備投資とランニングコストの削減を実現

≪特長≫
・液体を加圧せずに少ない電力で供給できるため、省エネ
・流量に関係なく均一霧化
・全流量域での粒子径がほぼ一定
・目詰まりしにくく作業上の安全性が高い
・粒子の自己速度が遅いため塗着効率が良い
・標準仕様の最大流量は100ml/分
・操作周波数は20～130kHz（機種により異なります）
・ザウター粒子径は11.8～42μm

（ソニア社）
※各種アクセサリーが豊富に揃ってます
（ソノシス社）
※標準で空気搬送治具が付いてます

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