イギリス PlasmaQuest リモートプラズマ イオンビームスパッタ装置 取り扱い開始
2024年4月より、ティー・ケイ・エス株式会社が日本総代理店となりました。
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする独自技術を特徴をする装置です。
イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。
複数のタ…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする独自技術を特徴をする装置です。
イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。
複数のタ…
2024-04-01 00:00:00.0企業ニュース