最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！
『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。
熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。
また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。
【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（一部）】
■質量範囲：100、200、300amu
■検出器タイプ：FC／EM
■イオン化エネルギー：70eV
■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor）
■最小検出速度：1.8msec
■動作温度：200℃（FC）、150℃（EM）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
東京電子株式会社
