最終更新日:
2016-01-15 11:40:33.0
現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。
3種類のパージ
1. ロード時のパージ
2. 開放時のパージ
3. アンロード時のパージ
基本情報
POINT:
1.Power: AC110V, 15A
(Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。)
2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2
(実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port 一つ毎につき、管を一つ引きます。)
3. Exhaust: GEX, 3/8”
(Port一つ毎につき、3/8管を引きます。)
4. Communication: Ethernet
(主要機台一台に1本のネットワーク回線を引くだけで、IPが使えるようになります。)
5. 穴が必要
(L/P一つ毎につき、回路及びパイプライン前部に穴を開ける必要があります。大小サイズに関係なく、 現場できちんと位置を確認してください。)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FOUP Loadport N2 Purge |
用途/実績例 | 3000台以上の納入実績あり。 |
お問い合わせ
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株式会社トリコ 東京支店