株式会社トリコ

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FOURPロードポートN2パージ改造

最終更新日: 2016-01-15 11:40:33.0
現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。

3種類のパージ
1. ロード時のパージ
2.  開放時のパージ
3.  アンロード時のパージ

基本情報

POINT:

1.Power: AC110V, 15A
(Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。)
2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2
(実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port 一つ毎につき、管を一つ引きます。)
3. Exhaust: GEX, 3/8”
(Port一つ毎につき、3/8管を引きます。)
4. Communication: Ethernet
(主要機台一台に1本のネットワーク回線を引くだけで、IPが使えるようになります。)
5. 穴が必要
(L/P一つ毎につき、回路及びパイプライン前部に穴を開ける必要があります。大小サイズに関係なく、 現場できちんと位置を確認してください。)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FOUP Loadport N2 Purge
用途/実績例 3000台以上の納入実績あり。

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