株式会社トリコ

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表面検査装置 FRT

最終更新日: 2016-01-15 13:35:49.0
表面測定装置 FRT

ドイツFRT社の測定装置は、あらゆる材料の解析に適しています。多種多様なセンサーや光源を取り揃えていますので、最適な測定を提供することが可能です。

基本情報

測定パラメーター

ウェーハ厚み・TTV・BOW・WARP・トポグラフィ・表面粗さ・
平坦度・ステップハイト・パンプ径・構造寸法・キャビティ深さ
膜厚 等

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 対象材料:
・ウェーハ
・MEMSチップ、TSV用ホール、パンプ
・自動車部品
・医療品
・包装材    等

お問い合わせ

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