最終更新日:
2016-01-15 13:35:49.0
表面測定装置 FRT
ドイツFRT社の測定装置は、あらゆる材料の解析に適しています。多種多様なセンサーや光源を取り揃えていますので、最適な測定を提供することが可能です。
基本情報
測定パラメーター
ウェーハ厚み・TTV・BOW・WARP・トポグラフィ・表面粗さ・
平坦度・ステップハイト・パンプ径・構造寸法・キャビティ深さ
膜厚 等
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 対象材料: ・ウェーハ ・MEMSチップ、TSV用ホール、パンプ ・自動車部品 ・医療品 ・包装材 等 |
お問い合わせ
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