最終更新日:
2024-04-08 14:44:06.0
重要なプロセスにおける完全なコントロール！最大限のスパッタ率が確保されます
『TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ』のジェネレータを使用すれば、
非常に重要なプロセスでも完全にコントロールを握ることができます。
たとえば、建築用ガラスへのSiOxなど難度の高い材料のコーティング、
フラットパネルスクリーンへのAlxOyコーティング、ソーラーガラスへの
TCOコーティングなどです。
当社が開発した高度なMF技術により、非常に薄く（nmレベル）、高強度で
完全に均質なレイヤにすることが可能。豊富な周波数ラインアップにより、
様々なプロセスで活用いただけます。
【主な利点】
■高い反応速度とそれに対応する残留エネルギーの低減により、
安定したプロセスと最大限のスパッタ率が確保される
■フレキシブルな冷却コンセプト
■独自技術"イグニッションサポート"技術により、効果的なプラズマ点火
■豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用可能
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基本情報
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