最終更新日:
2024-04-08 14:44:06.0
太陽電池の製造など、重要な産業プラズマプロセスで威力を発揮する電力供給装置！
『TruPlasma DC 4000（G2）シリーズ』は、美しい光学コーティングを
可能にするプラズマ電源です。
難度の高い材料の反応性スパッタリングプロセスに役立つように特別に設計。
このジェネレータは、太陽電池の製造、半導体の製造、硬質コーティングなど
重要な産業プラズマプロセスで威力を発揮します。
【特長】
■きわめて小さなアークエネルギー
■超高速デジタル制御プラットフォーム
■逆電圧は調整可能
■幅広く調整可能なパラメータ：波数およびパルスパラメータ
■非常に高度な監視ツール
■完全水冷式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【利点】
■優れた薄膜品質と歩留まり
■安定したプラズマと低いアーク関連の時間損失
■各種のプロセス要件にシンプルに適合
■1台の装置で幅広い用途に対応
■迅速・容易なプロセス最適化
■コンパクトな寸法、容易なシステム統合
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