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掲載開始日:
2021-10-19 00:00:00.0
SEMI F47(Voltage Sag Immunity)試験とは、半導体および関連業界のメンバーから構成される国際半導体製造装置材料協会(SEMI)が策定する半導体プロセス装置向けの規格の一つです。半導体工場内においてAC供給電源が突然の電圧低下を起こした状態を模擬し、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。
SEMI:Semiconductor Equipment and Materials Institute
Voltage Sag Immunity:電圧瞬時降下イミュニティ
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- SEMI F47 試験
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