ヴァイサラ株式会社

【導入事例】ヴァイサラがタングステンのCMPでの過酸化水素濃度の計測において、多くの半導体工場から選ばれる理由

最終更新日: 2022-06-09 12:18:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

CMP(化学機械研磨)は、化学反応と機械的摩耗を組み合わせた重要なナノ研磨プロセスですが、非常にコストがかかるうえ困難なプロセスでもあります。そして、集積回路の製造における重要なプロセスであり、生産量と生産性の両方に影響を与えます。

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