ALD(原子層堆積)装置2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現 弊社の熱ソリューションを集約し最適な温度管理を実現 最終更新日: 2024-07-16 17:31:30.0 お問い合わせ/資料請求
実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パラメータによる比較評価、膜厚測定などにも対応可能 最終更新日: 2024-07-16 17:31:30.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード