ワッティーが提供する『ガス供給ユニット』をご紹介します。
使用配管グレードは、SUS316L BA、EP(WEP)で、
φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチの配管径に対応。
溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。
【特長】
■クリーンルーム内で一貫生産(クラス100、1000)
■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、
ベントライン設計・製造
■多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
■溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っている
■短納期、少量製作にも対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
▼お問い合わせ先
TEL:相模原事業所 042-704-5352
MAIL:info@watty.co.jp
基本情報
【仕様(一部)】
■製造環境:クリーンルーム クラス100/1000
■対応部品メーカ:フジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、
タバイエステック、CKDほか多数
■使用配管グレード:SUS316L BA、EP(WEP)
■対応配管径:φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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