CVD装置解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

【その他の特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、
　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用
■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを
　計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、
　品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や
　実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能

◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算
・GUI上で、複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布　　　　　　など

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

vol.2やvol.3では、
・システム（系）の評価とCMMS/EAMによる管理
・RCMを支援するためのシステムは、どうあるべきか　　などを紹介予定です！

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。

VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 Monte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 Monte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

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　 迅速に計算が可能。
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　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

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　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

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【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
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●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
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　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
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●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
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【特長】
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●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
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●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
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　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

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◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
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◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
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◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

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◆大規模データを活用した解析サービス
◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

◆各種CAEソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
◆機械学習/AIソフトウェアの開発販売、サポート、コンサルティング
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◆設備保全管理システムを中心としたIoTシステムの構築

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
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　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
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ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
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●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
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【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
　 迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
　 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能

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