上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！
たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など
プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！
【解析対象となる物理現象】
・結合と活性化
・成膜
・スパッタや浸食
・脱離や洗浄 など
【評価可能な表面特性例】
・原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価
・物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価
・入射粒子の表面反応予測
・処理後の表面粗さ評価
・処理前後の親水性の変化
・処理後結晶の屈折率計算 など
◆お客様のニーズに合わせた対応◆
※詳しくお気軽にお問い合わせください!
関連情報
半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト
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【その他の特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、
真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用
■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、
品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や
実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算
・GUI上で、複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布 など
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
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【特長】
●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな
計算時間幅 Δt で安定に時間発展を求めることが可能
●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには
onte-Carlo Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、
迅速に計算が可能。
●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス
分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます
●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、
ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を
求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能
※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。
3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
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【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを
用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が
有っても，必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で
忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』
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【ツール】
■量子力学シミュレーションツール
■古典的シミュレーションツール
■メソスケール・シミュレーションツール
■統計ツール
■分析/結晶化ツール
【事例】
・結晶成長
・結晶表面の原子の挙動
・結晶解析
・物性値の計算
・スパッタリングシミュレーション
・潤滑剤の性能向上
・触媒
など
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
深層学習によるプラズマ解析『Particle-PLUS/DL』
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【こんな方にオススメ】
■半導体関連装置メーカー
■プラズマ解析に興味がある方
■CAE代理(サロゲート)モデルソフトに興味がある方
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速汎用プラズマ解析ソフトウェア『VizGlow』
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VizGlowの特徴は、圧縮性流体モデルを採用しているため、様々な条件のプラズマ解析を行う事が可能な点にあります。
シミュレート可能なプラズマの種類
容量結合プラズマ (CCP)
誘導結合プラズマ (ICP)
マイクロ波プラズマ (MWP)
直流 (DC) プラズマ
大気圧プラズマ (APP)
微小放電 (MD)
アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』
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VizSparkはアークプラズマの特性だけではなく、共役熱伝達や流れとの連成を考慮に入れているため、幅広い目的に活用をして頂く事が可能です。
VizSparkを使用する事で、アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う圧力及び温度上昇の他、アークプラズマのエネルギー効率等を解析できます。
材料開発をツール活用で効率化!『PipelinePilot』
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分析の部分では標準的な統計解析から機械学習、ディープラーニングまで幅広い手法に対応しており、近年注目されているマテリアルズ・インフォマティクスを行う際に必要となる「化学式を数値化するフィンガープリンティング機能も標準機能として備えています。
※詳しくはお問い合わせください。
表面処理の特性予測ソリューション
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【こんな方にオススメ】
■表面改質、表面処理の特性予測に興味のある方
■半導体関連装置メーカー
■プラズマ解析に興味がある方
■新規材料探索、マテリアルズ・インフォマティクス(MI)取り組み
■シミュレーションソフトに興味がある方
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション
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【その他の特長】
＜解析対象となる物理現象＞
■結合と活性化
■成膜
■スパッタや浸食
■脱離や洗浄 など
＜評価可能な表面特性例＞
■原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価
■物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価
■入射粒子の表面反応予測
■処理後の表面粗さ評価
■処理前後の親水性の変化
■処理後結晶の屈折率計算 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
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【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを
用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が
有っても，必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で
忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』
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【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを
用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が
有っても，必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で
忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
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【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを
用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が
有っても，必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で
忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション
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【特長】
●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを
用いる実験や装置開発に有用
●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能
●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が
有っても，必ず収束解を得られます
●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で
忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
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株式会社ウェーブフロント 本社
