上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション
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【計算可能な事例(抜粋)】
■シャワーヘッド型熱CVD(化学気相成長)
■真空蒸着
■分子線エピタキシー(MBE)
■真空ポンプの排気
■ダストの挙動シミュレーション
■極超音速希薄流
【特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェア
■真空チャンバーを用いる実験や装置開発に使用可能
■CVDのような化学反応を含む成膜速度、成膜分布のシミュレーションも可能
■非構造メッシュを採用しているので、実際の装置の形状そのままを、計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られる
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