お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析
『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・
製造に適したシミュレーションソフトウェアです。
軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを
行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。
2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。
【特長】
■低圧プラズマ解析が得意
■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体の
シミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能
■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意
■2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能
■自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【さまざまな計算結果を出力】
■ポテンシャル分布
■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ポテンシャル分布
■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【さまざまな事例に対応】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ (CCP) ■誘電体バリア放電 (DBD) ■電気泳動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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