1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機
シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研究開発や小ロット生産に対応
最終更新日：
2024-05-30 15:19:42.0UPDATE
精密部品洗浄装置（脱脂）
HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置 構成例：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥
最終更新日：
2023-01-14 18:06:42.0
Siナゲット洗浄装置
Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上
最終更新日：
2023-01-14 18:13:09.0
高圧断続スプレー「DP-Gun」
各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉が可能なため、少ない水量で繰り返しの衝撃を与えます。
最終更新日：
2022-10-19 08:56:07.0
高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰返しの衝撃。マスクやガラス洗浄ウェハ研磨後スラリー除去に。
最終更新日：
2022-10-19 08:56:07.0
乾式散布装置「微粒子対応 分散・散布装置」
数μmから数百nmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、乾式散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現！
最終更新日：
2023-01-16 01:14:39.0
乾式散布装置「卓上型 簡易散布装置」
数μmから数百nmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、乾式散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現！
最終更新日：
2023-01-16 01:12:33.0
乾式散布装置「ドライスペーサー散布装置」
数百nm〜数十μmの粒子を摩擦帯電により分散、均一に散布する、散布装置です。帯電量フィードバック制御で安定した散布を実現します。
最終更新日：
2023-01-16 01:12:38.0
シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
最終更新日：
2023-01-16 12:41:15.0
LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置！薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
最終更新日：
2023-01-16 12:43:03.0
小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
最終更新日：
2023-01-16 12:42:18.0
省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適
最終更新日：
2023-01-16 01:06:48.0
研磨装置 POLISHER
洗浄装置 WET CLEANER
散布装置 SPACER SPRAYER- 静電気除去装置 LINE IONIZER
- 検査装置 INSPECTION
高圧パルスジェット DP-GUN- すべての製品・サービス