シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
最終更新日：
2023-01-16 12:41:15.0
洗浄装置 WET CLEANER
ウェハ・ガラス・各種材料に対して、高圧断続スプレー・ニ流体・ブラシ・ 超音波・薬液等を組合せ、 研磨後の粗洗浄から精密洗浄、各種洗浄装置の設計から製造、研究開発用のコンパクトな1台 からオフライン・インラインの量産装置まで、運用目的とご予算に合わてご提案致します。洗浄プロセスについてもご相談下さい。
省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」
１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適
最終更新日：
2023-01-16 01:06:48.0
小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
最終更新日：
2023-01-16 12:42:18.0
LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液洗浄装置！薬液によりブラシ洗浄との組合せにも対応です。
最終更新日：
2023-01-16 12:43:03.0
Siナゲット洗浄装置
Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上
最終更新日：
2023-01-14 18:13:09.0
精密部品洗浄装置（脱脂）
HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置 構成例：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥
最終更新日：
2023-01-14 18:06:42.0
研磨装置 POLISHER
洗浄装置 WET CLEANER
散布装置 SPACER SPRAYER- 静電気除去装置 LINE IONIZER
- 検査装置 INSPECTION
高圧パルスジェット DP-GUN- すべての製品・サービス