コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社

コメット・エクスロン事業部

ナノ・マイクロフォーカスX線CTシステム『 FF20 CT』

最終更新日: 2023-01-06 10:34:00.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

小型部品向けの工業用・高分解能X線CT検査システム!
『FF20 CT』は、高分解能によってトップレベルの3D検査を
実現するコンピュータ断層(CT)検査システムです。

エレクトロニクス産業や材料工学分野において、研究開発、欠陥分析、
プロセスの監視、CT計測などで必要になる小型部品や微細構造の検査に
適しています。

【特長】
■新型の水冷式190kVトランスミッションX線管を搭載し、
 150nmまでの微細構造を鮮明な2D画像で取得
■グラナイト(花崗岩)ベースのマニプレーターにより温度を安定化
■直感的で簡単なタッチパネル操作
■ヘリカルCTスキャン、水平方向に拡大された観察視野、仮想回転軸、
 Quick/QualityScanの標準搭載など、様々なアプリケーションに柔軟に対応
■MPE~SD~= 3.9 μm + L/75の精密計測
 (VDI 2630-1.3規格の球間距離の偏差で計測)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※日本語版リーフレットをダウンロードいただけます。

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