業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報
【特長】
○業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手
○高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発
○国内外のお客様より高い評価
○合成から一貫してクリーンルーム内で作業
○スピーディーな製品設計が可能
○試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産
【ラインナップ】
○アデカスーパーTEOS
→用途:層間絶縁膜
○アデカ高純度TMB
→用途:ドーパント
○アデカ高純度TEB
→用途:ドーパント
○アデカ高純度TMP
→用途:ドーパント
○アデカ高純度TMOP
→用途:ドーパント
○アデカ高純度TEOP
→用途:ドーパント
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