E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます
当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える
『有機デバイス蒸着装置 E-100J』を設計・製造・販売しております。
※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。
【特徴】
○「E-100」の機能を生かした下位モデル
○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている
○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置
○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能
○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置
○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製
（E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能
○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備
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有機デバイス蒸着装置 E-100J
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