真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた
『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。
【特徴】
○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能
○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ）
○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
○真空排気ポート（NW40）1ポート
○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ
○基板加熱もしくは基板冷却機構
○蒸発源：2源（同時2源）
○水晶膜厚計、基板シャッター付き
○高真空ポンプ：ターボポンプ
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
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株式会社エイエルエステクノロジー
