マルチチャンバー化に対応可能！有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機
『E-70シリーズ』は、有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機です。
他のシリーズ機と接続できるためマルチチャンバー化も可能。
将来的にはグローブボックスの接続なども行えます。
【特長】
■有機デバイス研究を目的
■小型の機種
■他シリーズの蒸着装置と接続が可能
■将来的にはグローブボックス接続が可能
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【構成（E-70Basic）】
■基板サイズ：70x70 max
■ポンプ：ターボＰ
■蒸発源：8源 max
■同時蒸着：3源max
【構成】
■本体（E-70Basic）
■ターボ排気
■蒸発源 ８式（同時２源）
■膜厚計センサー２式
■膜厚計 １式
■バルブ操作 スイッチ
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
■基板サイズ：70x70 max
■ポンプ：ターボＰ
■蒸発源：8源 max
■同時蒸着：3源max
【構成】
■本体（E-70Basic）
■ターボ排気
■蒸発源 ８式（同時２源）
■膜厚計センサー２式
■膜厚計 １式
■バルブ操作 スイッチ
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関連ダウンロード
有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機『E-70シリーズ』
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