真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です!
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた
『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。
【特徴】
○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能
○蒸着室 寸法:280mm(幅)x290mm(奥行き)x410mm(高さ)
○エリプソメーター取り付けフランジ:角度選択可能(100度/120度/140度)
○アルミニウム製扉:覗き窓(有効可視径:Φ96mm)
○外部フィードスルー用ポート(NW40)3ポート
○真空排気ポート(NW40)1ポート
○最大基板サイズ:Φ110mm
○基板加熱もしくは基板冷却機構
○蒸発源:2源(同時2源)
○水晶膜厚計、基板シャッター付き
○高真空ポンプ:ターボポンプ
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有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
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