株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

オートマスクアライナー『AMA6000』

最終更新日: 2020-11-24 11:23:05.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner
自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)Maskaligner 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", 角基板 □2"~4"
■カセットステージ:2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ:(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半自動等倍露光装置(セミオートマスクアライナー)
半自動等倍露光装置(セミオートマスクアライナー) 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6",角基板 □2"~4"
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■アライメント動作:オートアライメント⇔マニュアルアライメント切換え可能
■搬送方法:電動シリンダによる自動搬送
■平行、ギャップ調整:自動
■装置サイズ:(例)1200×1050×2100(本体)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手動等倍露光装置(マニュアルマスクアライナー)
手動等倍露光装置(マニュアルマスクアライナー) 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6",角基板 □2"~4"
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■アライメント動作:オートアライメント⇔マニュアルアライメント切換え可能
■搬送方法:ウエハを露光ステージへ手動でセット
■平行、ギャップ調整:自動
■装置サイズ:(例)1200×1050×2100(本体)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2サイズインチ兼用自動等倍露光装置(オートマスクアライナー)
2サイズインチ兼用自動等倍露光装置(オートマスクアライナー) 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6",
■カセットステージ:2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ:(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半自動両面同時露光装置(セミオートダブルマスクアライナー)
半自動両面同時露光装置(セミオートダブルマスクアライナー) 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□5"~□7"
■ウエハサイズ:Φ4"~Φ6"
■カセットステージ:ローダー、アンローダー各2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■装置サイズ:(例)1800×1000×1900(本体)
■搬送方法:ベルト搬送方式

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー 製品画像
【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", 角基板 □2"~4"
■カセットステージ:2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組
■露光光源:i線LED光源(500W相当)
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ:(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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