【主な仕様】
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"
■装置サイズ:1200×1200×1900(本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■マスクサイズ:□3"~□7"
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"
■装置サイズ:1200×1200×1900(本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。