株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

リフトオフ装置

最終更新日: 2020-11-24 11:23:05.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off
自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数!

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off
半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:例、1300×1100×H1800(3カップ時、本体)
■消火器システム(オプション)

その他オプション多数!

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1400×1100×1900(本体・薬液BOX一体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数!

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置
高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数!

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
枚葉式でDIP!?膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置
枚葉式でDIP!?膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数!

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段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置
段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置 製品画像
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム

その他オプション多数!

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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