【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数!
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■膨潤機能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数!
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