【掲載製品】
■自動レジスト塗布装置
■自動レジスト現像装置
■マスクアライナー
■自動リフトオフ装置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■自動レジスト塗布装置
■自動レジスト現像装置
■マスクアライナー
■自動リフトオフ装置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■UV露光ユニット（LED光源もお選びいただけます）
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■UV露光ユニット（LED光源もお選びいただけます）
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：1組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1300×1450×1800(Φ4"本体・電源・薬液一体)
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：1組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1300×1450×1800(Φ4"本体・電源・薬液一体)
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■装置サイズ：（例）1200×800×1800(Φ4"本体・薬液供給一体)
その他オプション多数！
■スピン現像ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP～
■リンスノズル：1組/CUP
■装置サイズ：（例）1200×800×1800(Φ4"本体・薬液供給一体)
その他オプション多数！
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【主な仕様例】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
