厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーターGaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(ノウハウ)が多数あります! 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコーターです。 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドでも面内均一は±5%以内が標準で±3%以内の実績です。 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
R&Dや少量生産に最適!手動レジスト塗布装置(スピンコーター)研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置!卓上タイプとは違う自動機と同等のレジスト塗布機構を搭載! 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater低~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの半自動機(セミオート)も作製可能です! 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coaterレジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度~高粘度(MAX10000cP)レジスト対応! 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
裏面アライメントなし!片面オートマスクアライナー AMA6000裏面アライメントがないので低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に最適な装置を実現しました。 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
自動リフトオフ装置(メタル・レジスト剥離)Lift-off高圧ジェットで驚きの剝離能力!当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました! 最終更新日: 2020-11-24 11:57:21.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター!自動ポリイミド塗布装置~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現! 最終更新日: 2024-03-21 10:41:05.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード