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マスフローコントローラ Aera FC-R7800シリーズ

最終更新日: 2020-12-07 13:47:16.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2013.10.

高精度・高信頼のメタルシールモデル
高精度の流量制御を行うだけでなく、高感度、高速応答性の小型センサーの搭載により優れた制御性を発揮し、メタルシールによる優れた気密性も備えているので主要なガス制御アプリケーションに適しています。

※仕様詳細は『ダウンロード』よりご確認下さい。

関連情報

マスフローコントローラ『Aera PI-980』
マスフローコントローラ『Aera PI-980』 製品画像

【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100%メタルシール、高純度仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』
デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』 製品画像

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer 製品画像

【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
*マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』 製品画像

【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ:10sccm~5slm
■応答時間:1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度:フルスケールの±1%以下
■直線性:フルスケールの±0.5%以下
■再現性:フルスケールの±0.2%以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』
マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』 製品画像

【その他の特長】
■低コスト
■容易な据付
■高速応答性
■高い信頼性と実績

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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