包括的な通信・制御！コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ
『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な
アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。
当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに
高い再現性を誇ります。
優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが
向上します。
【特長】
■マルチガス・マルチレンジ
■高速応答性
■100％メタルシール・高純度設計
■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | － |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Transformer |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 |
関連ダウンロード
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
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