設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！
『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、
メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。
主要なガス制御アプリケーションに適しています。
⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、
優れた制御性を発揮します。
【特長】
■耐腐食設計
■メタルシール採用
■VCR、Swagelok互換の接続部
■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ：10sccm~5slm
■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度：フルスケールの±1%以下
■直線性：フルスケールの±0.5%以下
■再現性：フルスケールの±0.2%以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■フルスケールレンジ：10sccm~5slm
■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度：フルスケールの±1%以下
■直線性：フルスケールの±0.5%以下
■再現性：フルスケールの±0.2%以下
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| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FC-R7800シリーズ |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置 燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 |
関連ダウンロード
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
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