上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2013/10
経済性に優れた高精度ラバーシールモデル 高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により優れた経済性を向上させたことによりさまざまなアプリケーションで活躍します!※仕様詳細は『ダウンロード』よりご確認下さい。
関連情報
マスフローコントローラ『Aera PI-980』
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【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100%メタルシール、高純度仕様
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
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【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
*マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
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【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ:10sccm~5slm
■応答時間:1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度:フルスケールの±1%以下
■直線性:フルスケールの±0.5%以下
■再現性:フルスケールの±0.2%以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』
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【その他の特長】
■低コスト
■容易な据付
■高速応答性
■高い信頼性と実績
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
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