上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2013/10
コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラです。 Transformerが生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに高い再現性を誇ります。優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが向上します。※仕様詳細は『ダウンロード』よりご確認ください。
関連情報
マスフローコントローラ『Aera PI-980』
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【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100%メタルシール、高純度仕様
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer
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【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
*マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』
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【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ:10sccm~5slm
■応答時間:1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度:フルスケールの±1%以下
■直線性:フルスケールの±0.5%以下
■再現性:フルスケールの±0.2%以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マスフローコントローラ『Aera FC-R7700シリーズ』
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【その他の特長】
■低コスト
■容易な据付
■高速応答性
■高い信頼性と実績
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
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株式会社IBS