上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。
その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。
従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
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■長ストロークのパラレルキネマティック
技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400mm)。Z: <205mm, θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。
■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。
■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。
■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ALIO Industries XYステージ
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■3枚板の薄型高剛性デザイン
中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。
■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード
多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。
■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。
■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ALIO Industries ジンバルステージ
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■45°を超える画角を高精度に再現可能。
直交した2軸の回転ステージとMonolithic XYステージを組み合わせることにより、任意に規定した回転中心で制御が可能です。2軸の回転ステージを使用しているので、大きな角度の制御が高速に行うことが可能です。
■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
2軸の回転とXYステージの同期演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。動作軸の同期だけではなく、レーザーのOn/Off、Powerコントロールの高速同期制御によりハイスピード、高精度のレーザー加工機の制御を実現します。
■高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。
■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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オーテックス株式会社
