日本ブッシュ株式会社

ハーシュプロセス向け多段ルーツポンプ「UltiDry」

最終更新日: 2024-11-22 20:53:39.0
【初出展】Pfeiffer社の最新ドライポンプをSEMICON JAPAN 2024でご紹介!

世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプをSEMICON JAPAN 2024で初出展します。

【特徴】
○持続可能、堅牢
○多用途
○省エネルギー
◯高吸気流量に対応
○効率的なドライルーツ式

*1:PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。

■ Semicon Japan 2024概要 ■
会期:2024年12月11日(水)~13日(金)
会場:東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3302 
ご来場には事前登録が必要です。SEMICON JAPAN公式ウェブサイトよりご登録ください:https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register

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基本情報

●詳細については展示会で発表します。是非ご来場ください!

価格情報 各種仕様により価格は変動します。詳しくはお問い合わせください。
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Pfeiffer
用途/実績例 【用途】
半導体製造における各種アプリケーションに1台で対応

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