日本エンギス株式会社

2軸式縦型研削盤『HVG-300DSO』製品資料

最終更新日: 2022-11-22 09:22:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2022/1/20

関連情報

2軸式縦型研削盤『HVG-300DSO』
2軸式縦型研削盤『HVG-300DSO』 製品画像

【基本仕様】
対応ウエハサイズ:4-8インチウエハ相当
最大砥石径:φmm (回転数:最大4,000rpm)
ワークテーブル寸法:φ350mm (回転数:最大400rpm)

【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・厚み測定システム(接触式、非接触式)

※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
 お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ウェハボンディングマシン:EBM-250HC
ウェハボンディングマシン:EBM-250HC 製品画像

【装置仕様】
■対応ウェハサイズ:Max.Φ248mm
■加熱方式:電熱(Max.150℃)
■冷却方式:チラー(タイマー制御)
■寸法:W710XD510XH750mm


※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ウェハボンディングマシン:EBM-250HSC
ウェハボンディングマシン:EBM-250HSC 製品画像

【装置仕様】
■対応ウェハサイズ:Max.Φ248mm
■加熱方式:電熱(Max.300℃)
■冷却方式:チラー(タイマー制御)
■寸法:W778XD700XH1725mm


※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

研磨加工の基礎がまる分かり!『研磨加工&ラッピングの基礎知識』
研磨加工の基礎がまる分かり!『研磨加工&ラッピングの基礎知識』 製品画像

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