粗研削・精密研削を1つのワークテーブルで実行。小中ロット生産や研究開発に
Trinity-Yシリーズ『HVG-300DSO』は、加工軸を2軸備えた機構により、
1つのワークテーブル上で粗研削・精密研削を行うことができる研削盤です。
ワークの取り付けが1度で済むため、着脱時の誤差が生じず、
安定した平坦度・TTVを得ることが可能。
オプションの厚さ測定では、 加工中のウェーハの実際の厚みをリアルタイムで測定し 、 研削後のエンドポイントを正確に検出できます 。
【オプション】
■オートドレス機構
■厚み測定システム（接触・非接触タイプから選択可）
※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【基本仕様】
対応ウエハサイズ：4-8インチウエハ相当
最大砥石径：φmm (回転数：最大4,000rpm)
ワークテーブル寸法：φ350mm (回転数：最大400rpm)
【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・厚み測定システム（接触式、非接触式）
※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
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対応ウエハサイズ：4-8インチウエハ相当
最大砥石径：φmm (回転数：最大4,000rpm)
ワークテーブル寸法：φ350mm (回転数：最大400rpm)
【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・厚み測定システム（接触式、非接触式）
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関連ダウンロード
2軸式縦型研削盤『HVG-300DSO』
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