上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2022/1/20
関連情報
2軸式縦型研削盤『HVG-300DSO』
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【基本仕様】
対応ウエハサイズ:4-8インチウエハ相当
最大砥石径:φmm (回転数:最大4,000rpm)
ワークテーブル寸法:φ350mm (回転数:最大400rpm)
【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・厚み測定システム(接触式、非接触式)
※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ウェハボンディングマシン:EBM-250HC
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【装置仕様】
■対応ウェハサイズ:Max.Φ248mm
■加熱方式:電熱(Max.150℃)
■冷却方式:チラー(タイマー制御)
■寸法:W710XD510XH750mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェハボンディングマシン:EBM-250HSC
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【装置仕様】
■対応ウェハサイズ:Max.Φ248mm
■加熱方式:電熱(Max.300℃)
■冷却方式:チラー(タイマー制御)
■寸法:W778XD700XH1725mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨加工の基礎がまる分かり!『研磨加工&ラッピングの基礎知識』
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※ご希望の方は、上記よりダウンロードしてご覧下さい。
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日本エンギス株式会社