粗・精密研削を1つのワークテーブルで実行。小中ロット生産や研究開発に
Trinity-Yシリーズ『HVG-200-2Axis』は、加工軸を2軸備えた機構により、
1つのワークテーブル上で粗・精密仕上げを行うことができる研削盤です。
ワークの取り付けが1度で済むため、着脱時の誤差が生じず、
安定した平坦度・TTVを得ることが可能。
硬脆材料の研削加工に適し、小中ロットの生産や研究開発に活躍します。
【特長】
■コンパクト設計で省スペース化に貢献
■ご要望に応じて特別仕様での提供も可能
※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。
お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【基本仕様】
対応ウエハサイズ：2-4インチウエハ相当
最大砥石径：φ200mm (回転数：最大2,000rpm)
ワークテーブル寸法：φ200mm (回転数：最大400rpm)
【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・ワークステージの選択（ロータリー式、スライド式）
・リアルタイム厚み測定（接触式、非接触式）
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対応ウエハサイズ：2-4インチウエハ相当
最大砥石径：φ200mm (回転数：最大2,000rpm)
ワークテーブル寸法：φ200mm (回転数：最大400rpm)
【追加仕様】
・砥石のオートドレス機構
・ワークステージの選択（ロータリー式、スライド式）
・リアルタイム厚み測定（接触式、非接触式）
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