ハイウィン株式会社

【ウエハ搬送ロボット Eシリーズ】カタログ

最終更新日: 2023/11/28

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高精度/高剛性の自社製DDモータを採用したウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】カタログです。
2-12インチウエハに対応し、タクトタイム短縮が期待できるスペックです。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

関連情報

HIWINウエハアライナー
HIWINウエハアライナー 製品画像
・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1mmの実現が可能
・クリーン度Class 1
HIWIN ウエハロードポート
HIWIN ウエハロードポート 製品画像
・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。

・製品のクリーン度はClass 1。
 フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
 ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
 ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

『半導体サブシステムソリューション』
『半導体サブシステムソリューション』 製品画像
■半導体製造装置向け製品を、オールインワンでご提供
 コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。
 中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。
 主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。

■手厚い技術サポート
 神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
 実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。
 ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。

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