最終更新日:
2024-06-25 10:18:35.0
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。
内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
基本情報
・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | HIWIN ハイウィン ウエハ搬送 ロボット DDモータ アライナー |
| 用途／実績例 | 半導体業界（ウエハ）、LED業界（サファイア基板）、光電子業界（ガラス）等のアライメントに |
お問い合わせ
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ハイウィン株式会社
