【ウエハロードポート】カタログ製品カタログ | カタログ

【ウエハロードポート】カタログ

最終更新日: 2024-09-02 15:44:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型【ロードポート】のカタログです。
ハイウィンウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

ボールねじ、リニアガイドウェイ等のウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

関連情報

HIWIN ウエハロードポート

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。

・製品のクリーン度はClass 1。
　フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。
　ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
　ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム
アーム長　135mm／185mm
エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。

HIWINウエハアライナー

・2-12インチ対応のラインアップ
・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能
・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能
・クリーン度Class 1

『半導体サブシステムソリューション』

■半導体製造装置向け製品を、オールインワンでご提供
　コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。
　中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。
　主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。

■手厚い技術サポート
　神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。
　実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。
　ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望連絡希望訪問希望その他
目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
添付資料
お問い合わせ内容	【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。