最終更新日:
2023-03-17 09:50:36.0
金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載
『ASTE(アステ)』は、エッチング後のポリマ除去や、
ウエハ上の異物除去 (ブラシスクラバの置換え)が出来る、
金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。
高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマと
レジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。
原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。
【特長】
■コスト低減
■工程数削減
■環境負荷低減
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【基本構成】
■金属汚染のない蒸気発生装置
■単式蒸気噴射音速ノズル
■アルキメデス制御方式
■EFEM(搬送系)
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系
【仕様】
■チャンバ数:2チャンバ
■ウエハ口径:150,200mm対応
■カセット数:2カセット
■用 力:DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa
■本体外形寸法:1100(W)× 1800(D)× 2000(H)
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【対象アプリケーション】 ■エッチング後のポリマ除去 ■ウエハ上の異物除去(ブラシスクラバの置換え) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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