最終更新日:
2023-03-17 09:50:16.0
金リフトオフ工程で95%以上の回収率でコスト低減!LED用の洗浄装置
『BEUGA(ビューガ)』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、
多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。
高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、
金リフトオフ工程では95%以上の金回収率が可能です。
原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、
コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。
【特長】
■コスト低減
■金回収率向上
■環境負荷低減
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【基本構成】
■蒸気発生装置
■多連式蒸気噴射音速ノズル
■EFEM(搬送系)
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系
【仕様】
■ウエハ口径:50-150mmΦ
■用 力:DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa
■本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H)
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【対象アプリケーション】 ■金リフトオフ ■レジスト剥離 ■WAX・オイル除去 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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